材料本身所具有（yǒu）的性能，必須通過正確的熱處（chù）理（lǐ）手段來達到。隻有良好的熱處理手段，才能實現我們預（yù）想（xiǎng）的（de）性能期望。根據塑封模具材料性能（néng）要求，塑封模熱處理手段主要是高溫淬火（huǒ）、深冷（lěng）處理、高溫回火，並多（duō）次反複，通（tōng）過這些不同的處理，達到最佳的模具性能。 
1、高溫淬火 
    為了提高材料的剛性和耐磨損性，一般材料均需加熱到1030℃以上。高溫下，各種（zhǒng）合金元（yuán）素充分（fèn）溶（róng）解於奧氏體內，以便在淬火時（shí）獲得高的基體硬度，同時為了保證（zhèng）零件不發生脫（tuō）碳氧化，相應采用了真空處理。目前半導體行業內使用的高速率氣淬淬火爐，可以在高真（zhēn）空條件下通過（guò）氮氣保（bǎo）護對工件進行（háng）加熱，既保（bǎo）證了工件的脫碳氧化，又防止了合金元素的蒸發。同時（shí）采用200-500Kpa範圍內可調節氣體壓力，對工件進行淬火冷卻（què），在保證工件充分淬透（tòu）的同時又減少了變（biàn）形。 
2、深冷處（chù）理與（yǔ）高溫回火 
    高合金鋼在淬火後，由於其馬（mǎ）氏體轉變點（Ms點（diǎn））均高於室溫（wēn），為了提高硬度，保證尺寸穩定性，通常要進行（háng）深冷處（chù）理和高溫回火，以保（bǎo）證殘餘奧氏（shì）體充分轉變為穩定的回火馬氏體。我們（men）將經過真（zhēn）空淬火後的工（gōng）件，在室溫至100℃之間進行校正，然後放入-140℃的深冷處（chù）理箱中進行深冷。工件（jiàn）在不（bú）出爐的情（qíng）況下，可以在-140℃至230℃之間進行冷熱（rè）循環，保證工件不會因為（wéi）進出爐而產生變形或開裂。同時（shí）由於采（cǎi）用氮氣保護也避免了工件在回火（huǒ）中（zhōng）的（de）氧化開裂。目前對於D2類材料，我們通常（cháng）在深冷設備中直接完成-140℃深冷至230℃回火的3次循環。對於高於230℃回火的鋼種如SAM97、ELmax、ASP23等，我們采用了真空回火爐，在抽真空後，加入99.999%的高純氮氣作為介質，通過（guò）吹風方（fāng）向的改變來形成對流，保證了工件的溫度均勻性，同時（shí）節省了回火時間。 
3、其它輔助手段 
    在提高了淬火回火及深冷處理質量的同時，我們（men）同時對工件的其它環節給予了充分的重視，過去（qù）認為的熱處理工件潔淨度與（yǔ）處理無關（guān）的觀點（diǎn）已經被拋（pāo）棄，增加潔（jié）淨預處（chù）理。即將（jiāng）未入（rù）爐零件，通過（guò）真空清洗機進行真空去油、脫脂、幹燥。去除了工件的各類加工油汙和碎屑，保證了入（rù）爐工件（jiàn）不會帶入其它雜質，避免了在高溫加熱時雜質分解，汙染爐內環境和工件本身，從微觀上保證了工件的組織潔淨度和處理質量的完美性，提高了工件的使用壽命。

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