材料本身所（suǒ）具有（yǒu）的性能，必須通過正確的熱處理手段來達到。隻（zhī）有良好的熱處（chù）理手段（duàn），才能實現我們預想的性能期望。根據塑封模具材料性能要求，塑封模熱處理手（shǒu）段主要是高溫淬火（huǒ）、深冷處理、高溫回火，並（bìng）多次（cì）反複，通（tōng）過這些不（bú）同的處理，達到最（zuì）佳的模具性能。 
1、高溫淬火 
    為了提高材（cái）料的剛性和耐磨損性，一般材料均需加熱到1030℃以上。高溫（wēn）下，各種合金元素充分溶解於奧（ào）氏體內，以便在淬火時獲得（dé）高的基體硬度，同時（shí）為了保證零件（jiàn）不發（fā）生脫碳（tàn）氧化，相（xiàng）應采用了真空處理。目前（qián）半導體行（háng）業內使用的高速率氣淬淬火爐，可（kě）以（yǐ）在高真空條件下通過氮氣保護（hù）對工件進行加（jiā）熱（rè），既（jì）保（bǎo）證了工件的脫碳氧化，又防止了合（hé）金元素的蒸發。同時采用200-500Kpa範圍內可調節氣體壓力，對工件進行淬火（huǒ）冷卻，在保證工件充分淬透的同時又減少了變形。 
2、深冷處理（lǐ）與高溫回火 
    高合金鋼在淬火後，由於其馬（mǎ）氏體轉（zhuǎn）變點（Ms點）均高於室溫，為了提高硬度，保證尺寸穩定性，通常（cháng）要進行深冷處（chù）理和高溫回（huí）火，以保證殘餘奧氏（shì）體充（chōng）分轉（zhuǎn）變（biàn）為穩定的回火馬氏體。我們將經（jīng）過真空淬火後的工件，在（zài）室溫至100℃之間（jiān）進（jìn）行校正（zhèng），然後放入-140℃的深冷處理箱中進行深冷。工件在不出爐的情況下（xià），可以在-140℃至230℃之間進行冷熱循（xún）環，保證工件不會因為進出爐而產生變形或開裂。同時由於采（cǎi）用氮氣（qì）保護也避免了工（gōng）件在回（huí）火中的氧化開（kāi）裂。目前對於D2類材料（liào），我們通常在深冷（lěng）設備中（zhōng）直接完（wán）成-140℃深冷至230℃回火的3次循環。對於高（gāo）於230℃回火的鋼種如SAM97、ELmax、ASP23等，我（wǒ）們采用了（le）真空回火爐（lú），在抽真空後，加入99.999%的高純氮氣作為介質，通過吹風方（fāng）向的改（gǎi）變來形成對流，保證了工件的溫度均勻性，同時節省了（le）回火時間。 
3、其它輔助手（shǒu）段 
    在提高了淬火（huǒ）回火及（jí）深（shēn）冷處理質量的同時，我們同時（shí）對工件的其它環節給予了充分的重視，過去認為（wéi）的熱處理工件潔淨度與處理無關的觀點已經被拋棄（qì），增（zēng）加潔淨預處理。即將未入爐零件，通過真空清洗機進行真空去油、脫（tuō）脂、幹燥（zào）。去除了（le）工件的各類加工油（yóu）汙和碎屑，保證了入爐工件不會（huì）帶入（rù）其它雜質，避免了在（zài）高溫加熱時雜質（zhì）分解，汙（wū）染爐內（nèi）環（huán）境和工件本身，從微觀上保證了工件（jiàn）的組織潔淨度和處理質（zhì）量的（de）完美性（xìng），提高了工件的使用壽命。

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