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區第二工業區24棟(dòng)A區
材料本身所具(jù)有的(de)性能,必(bì)須通過正確的熱處理手(shǒu)段來達到。隻有良好的熱處理手段,才能實現我(wǒ)們預想的性能(néng)期望。根據(jù)塑封模具(jù)材(cái)料性能要求,塑封模熱處理(lǐ)手段主要是高(gāo)溫淬火、深冷處理(lǐ)、高溫回火,並多次反複,通(tōng)過這些不同的處(chù)理,達到最佳的模具性(xìng)能。
1、高溫淬火
為了提高材料的剛性和耐磨損性,一般材料均需加熱到1030℃以上。高溫下,各種合金元素充分(fèn)溶解於奧氏體內,以便(biàn)在淬火時獲得高的(de)基體硬度,同(tóng)時為了保證零件(jiàn)不發生脫碳氧化,相(xiàng)應采用了真空處理。目(mù)前半導體行業(yè)內使用的高速率氣(qì)淬淬火(huǒ)爐,可以在高真空條件下(xià)通過氮氣保護對工件進行加熱,既保證了工件的脫碳氧化,又防止了合金元素(sù)的蒸發。同時采用200-500Kpa範圍內可調節氣體壓力,對工件(jiàn)進行淬火冷(lěng)卻,在保證工件充分淬透的同時又減少了變形。
2、深冷處理與高溫回火
高合金鋼(gāng)在淬火後,由於其馬氏體轉變點(Ms點)均高於室溫,為了提(tí)高硬度,保證尺寸穩定性,通常(cháng)要進(jìn)行深(shēn)冷處理和高溫回火,以保證殘餘奧氏體充分轉變為穩定的回火馬氏體。我們將經過真空淬火後的工件,在室(shì)溫(wēn)至100℃之間進行校正(zhèng),然(rán)後放入-140℃的深冷處理箱中進行深冷。工件在(zài)不出爐(lú)的情況下,可以在-140℃至230℃之間進行冷熱(rè)循環,保證工件不會因為進出爐而產生變(biàn)形或開裂(liè)。同時由於采用氮氣保護也避免了工件(jiàn)在回火(huǒ)中的氧化開裂(liè)。目前對於D2類材料,我(wǒ)們通常在深冷設備中直接完成-140℃深冷至230℃回火的3次循環。對於高於230℃回火的鋼種如SAM97、ELmax、ASP23等,我們(men)采用了真空(kōng)回火爐,在抽真空後,加入99.999%的高純氮(dàn)氣作為介質,通過吹風方向的(de)改變(biàn)來形成對流,保證(zhèng)了工件的溫度均勻性,同時節省了回火時間。
3、其它輔助手段
在提高了淬(cuì)火回火及深冷處理質量的同時,我們同時對工(gōng)件的其它環(huán)節給予了(le)充分的(de)重視,過去認為的熱處理工件(jiàn)潔淨度與處(chù)理無關的觀點已經被(bèi)拋棄,增加潔淨預處理。即將未入爐零件,通(tōng)過真(zhēn)空清洗機進行真空去油、脫脂、幹燥。去除了工件的各類加工油汙和碎屑,保證了入爐工件(jiàn)不(bú)會帶入其它雜質,避免(miǎn)了在高溫加熱時雜質分解,汙(wū)染(rǎn)爐內環境和工件本身,從微觀上保證了(le)工(gōng)件(jiàn)的組織(zhī)潔(jié)淨度和處理(lǐ)質量的(de)完美(měi)性,提高(gāo)了工件的使用壽命。
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